選用低溫等離子體處理VOCs廢氣時(shí)，***要反應(yīng)過程與前面描繪的相同。***要，高能電子與分子之間的磕碰反應(yīng)發(fā)生活性自由基。然后，自由基與有機(jī)氣體分子發(fā)生反應(yīng)，凈化氣體。根據(jù)方針污染物的不同，低溫等離子體凈化VOCs的機(jī)理不同。鹵化烴分子極性強(qiáng)，電子吸收能力強(qiáng)，易受高能電子進(jìn)犯而降解；烴類VOCs的化學(xué)性質(zhì)相對生動，易與自由基結(jié)合發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，但高壓放電過程中的化學(xué)反應(yīng)***要是離子反應(yīng)。反應(yīng)的終究產(chǎn)品也跟著反應(yīng)條件的不同而改變。當(dāng)?shù)蜐舛扔袡C(jī)氣體在高溫文高能量密度下處理時(shí)，氧化反應(yīng)起主導(dǎo)作用，終究產(chǎn)品***要是CO2和H2O；當(dāng)高濃度有機(jī)氣體在低溫文低能量密度下處理時(shí)，產(chǎn)品的中間體更容易發(fā)生鏈加成反應(yīng)，生成固體或液體有機(jī)物。因而，在VOCs廢氣處理過程中，經(jīng)過相關(guān)技術(shù)對反應(yīng)條件進(jìn)行操控是非常重要的。

 

　　在不同的鼓勵(lì)電壓波形下，反應(yīng)器發(fā)生不同的放電方式。根據(jù)反應(yīng)器的類型，低溫等離子體發(fā)生技術(shù)可分為電暈、沿面、介質(zhì)阻撓等方式。在處理多組分VOCs污染氣體時(shí)，一般選用多種排放辦法。Mizuno等研討選用毛細(xì)管玻璃石英管和氧化鋁球形顆粒模仿蜂窩催化劑。經(jīng)過交直流耦合的方式，證明了催化劑外表能夠發(fā)生***面積的等離子體，為汽車尾氣的凈化供給了方向和根據(jù)。